下载一种源极抬高电压使用的高压LDMOS及其制造方法的技术资料

文档序号:11857512

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本申请公开了一种源极抬高电压使用的高压LDMOS器件,在p型衬底与n型外延层的交界面具有n型埋层和p型埋层;n型埋层与p型埋层的侧面不接触,两者具有一定距离,从而提高了n型埋层与p型埋层之间的耐压;所述p型埋层与漏极在垂直方向上至少部分重叠...
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