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一种磁控组件，该磁控组件包括磁体和驱动轴和控制机构，所述控制机构与所述驱动轴相连，所述磁体设置在所述控制机构上，所述控制机构包括动外齿轮和定齿轮件，所述定齿轮件能够相对于待溅射靶材固定设置，所述动外齿轮的轮齿与所述定齿轮件的轮齿啮合，且所述...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。