温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。
本发明公开了一种上电极组件进气装置及上电极组件，包括进气接头，盖板，以及筛板。进气接头安装在盖板的第一表面上；盖板的第二表面与筛板的第一表面紧密贴合；盖板包括盖板主体和进气部，主体与进气部固定连接，进气部设置在上电极组件的平面线圈的外侧与进...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。