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本发明公开了一种高分辨率、高灵敏度、高可靠性的扫描探针制作方法。该方法采用微纳加工工艺实现，即在衬底上通过光刻、刻蚀制作针尖和悬臂梁，针尖利用低温氧化技术进行锐化，并且利用荫罩对针尖进行局部金刚石薄膜淀积。本发明将常规微纳加工方法同金刚石薄...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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