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本发明提供一种用于将光照射到衬底上以处理所述衬底的光照射设备。所述光照射设备包含：透射窗，光透射穿过所述透射窗；收集器，设置在透射窗上方并且向上倾斜到透射窗的外部，收集器使在从所述衬底反射之后透射穿过透射窗的反射光偏移；以及冷却块，在冷却块...
该专利属于AP系统股份有限公司;三星显示有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过AP系统股份有限公司;三星显示有限公司授权不得商用。

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