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一种SRAM单元的形成方法,包括:形成有:第一、二、三、四、五、六鳍部;横跨第一、二、三鳍部的第一栅极,横跨第一、二鳍部的第二栅极,第一、二栅极之间的第一、二鳍部为第一漏极;横跨第四、五、六鳍部的第三栅极,横跨第五、六鳍部的第四栅极,第三、...该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。
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一种SRAM单元的形成方法,包括:形成有:第一、二、三、四、五、六鳍部;横跨第一、二、三鳍部的第一栅极,横跨第一、二鳍部的第二栅极,第一、二栅极之间的第一、二鳍部为第一漏极;横跨第四、五、六鳍部的第三栅极,横跨第五、六鳍部的第四栅极,第三、...