下载一种半导体器件及其制作方法的技术资料

文档序号:11854558

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本发明公开了一种半导体器件及其制作方法,根据本发明的方法在形成高K介电层之后采用牺牲层以实现在NMOS区域和PMOS区域中分别形成金属栅极结构,同时,在功函数金属层和铝金属电极层之间添加形成阻挡层,以避免发生铝扩散,提高半导体器件的整体性能...
该专利属于中芯国际集成电路制造(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中芯国际集成电路制造(上海)有限公司授权不得商用。

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