下载一种具有多电极结构的横向高压器件的技术资料

文档序号:11854554

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本发明提供了一种具有多电极结构的横向高压器件,属于半导体功率器件领域。包括第二型掺杂杂质半导体衬底、第一型掺杂杂质漂移区、第二型掺杂杂质阱区、第二型掺杂杂质接触区、第一型掺杂杂质源区、第一型掺杂杂质阱区、第一型掺杂杂质漏区、介质层、多晶硅栅...
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