下载用于电镀装置的内盖导电结构的技术资料

文档序号:11850004

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本实用新型公开了一种用于电镀装置的内盖导电结构,其与一电镀载体的多个导电组件接触,该内盖导电结构包含:环形内盖;及至少三个导电片体,间隔环设于该环形内盖的底部;其中,当该环形内盖盖设于该电镀载体时,各导电片体对应至少两个导电组件的端点。由此...
该专利属于王明照;曾振丰;徐茂诚所有,仅供学习研究参考,未经过王明照;曾振丰;徐茂诚授权不得商用。

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