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一种溅射装置，所述溅射装置包括腔室、可以在所述腔室中保持基板并围绕与在基板保持表面垂直的轴线转动的基板保持件、第一至第四靶材保持件、遮挡单元、及通过其传送基板的闸阀。第一至第四靶材保持件布置在具有长边及短边并内接于以所述轴线为中心的假想圆的...
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