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基板支撑组件包含陶瓷主体及接合至陶瓷主体的下表面的导热基底。基板支撑组件进一步包含金属接合至陶瓷主体的上表面的保护层，其中保护层为整体烧结陶瓷制品。...
该专利属于应用材料公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料公司授权不得商用。

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