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一种具有微锥塔阵列端面的电极制造技术
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下载一种具有微锥塔阵列端面的电极的技术资料
文档序号:11818675
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本实用新型公开了一种具有微锥塔阵列端面的电极。包括相互连接的电极端头和配气导向杆;电极端头的放电端面上加工微锥塔阵列,多个微锥塔在电极端头的平面上纵横依次成排连接;其中微锥塔为微小的锥形结构,V形沟槽底部通过半径为1~5微米的过渡圆弧连接;...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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