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用于散热应用的厚聚晶合成金刚石晶片以及微波等离子体化学气相沉积合成技术制造技术
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文档序号:11811416
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一种制造聚晶CVD合成金刚石材料的方法,该聚晶CVD合成金刚石材料具有至少2000Wm-1K-1的通过其厚度的室温平均热导率,该方法包括:将难熔金属基底装入CVD反应器中;在难熔金属基底的周边区域周围设置难熔金属护圈,所述难熔金属护圈限定出...
该专利属于六号元素技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过六号元素技术有限公司授权不得商用。
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