下载垂直非易失性存储装置及其制造方法的技术资料

文档序号:11809537

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本发明提供了垂直非易失性存储装置及其制造方法。其中一种垂直非易失性存储装置包括:栅电极,在垂直于基板的上表面的第三方向上堆叠在基板的第一区域中,该基板包括第一区域和围绕第一区域的第二区域;沟道,在第三方向上延伸穿过栅电极;导电焊盘,在第二区...
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