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振动控制的基板传送机械手、系统及方法技术方案
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文档序号:11808611
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本文的实施方式揭示了振动控制的机械手设备。所述设备包括机械手,所述机械手具有:能操作以输送基板的终端受动器;耦接至机械手的传感器,所述传感器能操作以在机械手输送基板时感测振动,并操作所述机械手以减少支撑基板的终端受动器的振动。在一些实施方式...
该专利属于应用材料公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料公司授权不得商用。
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