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图案形成方法和加热装置制造方法及图纸
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下载图案形成方法和加热装置的技术资料
文档序号:11805796
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在本发明中,在基板上形成图案时,在基板上形成至少包括两种聚合物的嵌段共聚物的膜,在溶剂蒸气氛围下对该嵌段共聚物的膜进行加热,使得嵌段共聚物相分离,除去被相分离的嵌段共聚物的膜中的一种聚合物,因此,能够促进嵌段共聚物的聚合物的流动化,能够促进...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。
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