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本实用新型提供一种化学机械研磨机台，包括研磨台、研磨垫、研磨液输送装置、研磨头装置以及研磨头清洗及晶圆装卸单元，所述研磨头装置设置有红外发射器，所述研磨头清洗及晶圆装卸单元设有与红外发射器相对应的所述校准测试用标记，当红外发射器发射的红外光...
该专利属于上海华力微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华力微电子有限公司授权不得商用。

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