下载一种III族半导体发光器件的制作方法的技术资料

文档序号:11794380

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本申请公开了一种III族半导体发光器件的制作方法,包括步骤:自下而上依次生长衬底、缓冲层、n型氮化物半导体层、有源层和p型氮化物半导体层形成外延结构,所述外延结构的上表面为p型氮化物半导体层的上表面;沉积透明导电层在所述p型氮化物半导体上表...
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