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电阻式存储器及其制造方法技术
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文档序号:11794376
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本发明提供一种电阻式存储器及其制造方法,该存储器包括:一基底;一堆叠,此堆叠包括:下电极及电阻转态层;层间介电层,覆盖堆叠,其中层间介电层具有开口对准堆叠,此开口的侧壁与下电极及电阻转态层的侧壁对齐;上电极,设于电阻转态层上;以及接触插塞,...
该专利属于华邦电子股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华邦电子股份有限公司授权不得商用。
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