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本实用新型涉及一种新型离子源，特别涉及一种带防静电涂层的考夫曼电源。所述加速电极靠近屏极的表面涂覆防静电涂层，所述防静电涂层为金属氧化物，有防静电功能。防静电涂层能够消除加速电极的金属离子沉积，能够消除由于金属沉积造成的短路现象。...
该专利属于中国计量学院所有，仅供学习研究参考，未经过中国计量学院授权不得商用。

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