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一种薄膜晶体管阵列基板的检测装置，用于对薄膜晶体管阵列基板进行缺陷检测，所述检测装置包括载台基座以及设置在所述载台基座上的加热装置，所述加热装置用于在进行缺陷检测之前对置于所述载台基座上的薄膜晶体管阵列基板先进行加热。本发明还提供一种薄膜晶...
该专利属于昆山龙腾光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山龙腾光电有限公司授权不得商用。

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