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本发明提供了一种化学气相沉积装置，化学气相沉积装置包括：第一壳体，具有第一内腔；输送轴，穿设在第一壳体上并伸入至第一内腔中；胶圈，胶圈设置在输送轴的位于第一壳体内的一端上，还包括：第二壳体，具有第二内腔以及与第二内腔连通的开口面，第二壳体固...
该专利属于北京精诚铂阳光电设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京精诚铂阳光电设备有限公司授权不得商用。

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