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本发明公开了一种大行程高速多级驱动倾斜镜，该倾斜镜包括反射镜面，多级高速驱动器，底座。多级高速驱动器的一端与反射镜面的背面胶接，另一端与底座胶接，组合完成倾斜镜整体。其中每个多级高速驱动器均由多个高速驱动器串联组成，采用四个多级高速驱动器对...
该专利属于中国科学院光电技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电技术研究所授权不得商用。

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