下载一种在原子力显微镜下刀具刃口半径检测用刃口定位装置的技术资料

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一种在原子力显微镜下刀具刃口半径检测用刃口定位装置属于刀具刃口检测领域,目的在于解决现有技术存在的刀刃定位困难、检测难度大和效率低的问题。本发明的一种在原子力显微镜下刀具刃口半径检测用刃口定位装置包括刀具刃口定位机构、光发射机构和光接收机构...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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