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本发明提供一种移载方法、保持装置及移载系统。移载方法是从具备载置基板的载置部和紧贴地重叠在上述载置部上面上的罩的载体，移载被保持在上述载置部和上述罩之间的上述基板的移载方法，其特征在于，包含：由保持装置保持上述载置部上的上述基板及上述罩的保...
该专利属于平田机工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过平田机工株式会社授权不得商用。

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