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本发明提供一种基板回收装置(1)，其包括：载物台(3)，其使多个基板(2)朝向下方地载置有片(11)；提取部(4)，其在该载物台(3)的上方针对配置在预定的位置的一部分基板(2)进行预定的操作，由此使基板(2)自片(11)剥离并落下；观察部...
该专利属于奥林巴斯株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过奥林巴斯株式会社授权不得商用。

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