基板回收装置制造方法及图纸

技术编号:11729411 阅读:69 留言:0更新日期:2015-07-15 02:09
本发明专利技术提供一种基板回收装置(1),其包括:载物台(3),其使多个基板(2)朝向下方地载置有片(11);提取部(4),其在该载物台(3)的上方针对配置在预定的位置的一部分基板(2)进行预定的操作,由此使基板(2)自片(11)剥离并落下;观察部(5)和回收部(7),其配置在载物台(3)的下方;以及移动机构(8),其用于使观察部(5)和回收部(7)一体地沿水平方向移动;移动机构(8)能够将观察部(5)和回收部(7)定位在观察部(5)或回收部(7)配置于预定的位置的大致铅垂下方的两个位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种基板回收装置
技术介绍
以往,公知有一种将粘贴有生物体组织的切片的玻璃基板以粘接于片的状态与切片一起进行分割、并将分割后的基板的一部分与切片的断片一起进行回收的装置(例如,参照专利文献1。)。根据专利文献1,通过在使基板朝向下方的状态下隔着片按压基板的背面,使基板自片剥离及落下,从而能够选择性地回收期望的基板。作为实现这样的基板的回收方法的装置,在专利文献1的图9中提出了一种利用倒置型的显微镜的结构。通过使用倒置型的显微镜,能够从正面方向详细地观察设置于载物台的基板和切片。现有技术文献专利文献专利文献1:国际公开第2011/149009号
技术实现思路
专利技术要解决的问题但是,根据专利文献1,使载置了粘接有基板的片的显微镜的载物台从显微镜的观察位置向显微镜的外侧移动较大的距离,之后,进行基板相对于用于按压基板的提取部件的细微的位置对准。即,载物台要求有较大的可动范围和较高的定位精度这两个功能,载物台的移动机构变复杂。本专利技术是鉴于上述情况而做成的,其目的在于提供一种能够采用倒置型的光学设计并且能够将载物台的移动机构设为简单的结构的基板回收装置。用于解决问题的方案为了达到上述目的,本专利技术提供以下技术方案。本专利技术提供一种基板回收装置,其通过进行预定的操作而将以能够剥离的方式粘接于片构件的多个基板中的一部分基板从所述片构件剥离并回收,其中,该基板回收装置包括:载物台,其使所述多个基板朝向下方地载置有所述片构件,并能够沿水平方向移动;提取部,其通过在该载物台的上方针对该载物台上的所述基板进行所述预定的操作而使所述基板自所述片构件剥离并落下;观察部,其用于从所述载物台的下方观察该载物台上的所述基板;回收部,其用于在所述载物台的下方回收自该载物台落下的所述基板;以及移动机构,其用于使所述观察部和所述回收部一体地沿水平方向移动;所述提取部针对相对于该提取部配置在预定的相对位置的所述一部分基板进行所述预定的操作,所述移动机构能够将所述观察部和所述回收部定位在所述观察部配置于所述预定的相对位置的大致铅垂下方的第1位置和所述回收部配置于所述预定的相对位置的大致铅垂下方的第2位置。根据本专利技术,通过将粘接有基板的片构件载置在载物台上,一边利用观察部观察基板一边调整载物台的位置以将期望的基板相对于提取部配置在预定的相对位置,利用提取部使配置在预定的相对位置的基板剥离及落下,从而能够将期望的基板回收到回收部。在此,采用利用观察部从载物台的下方观察载物台上的基板的倒置型的光学设计,并且利用移动机构在第1位置与第2位置之间切换观察部和回收部的位置,从而能够在载物台的大致铅垂下方择一配置观察部和回收部。在该情况下,载物台的可动范围在基板相对于提取部的定位所需的充分窄的范围即可,因此载物台的移动机构只要具有微动的功能就足够了,能够使移动机构变简单。另一方面,关于与载物台相比针对提取部的定位精度要求并不严格的观察部和回收部,能够利用移动机构的定位达到充分的定位精度。在上述专利技术中,也可以是,所述观察部包括:反射构件,其用于在所述第1位置将所述载物台上的所述基板的像向与铅垂方向交叉的方向反射;以及摄影构件,其用于拍摄由该反射构件反射的所述像。通过如此设置,摄影构件只要在任意的位置拍摄从反射构件传递来的基板的像即可,因此能够提高摄影构件的配置及光学设计的自由度。另外,通过将与摄影构件相比小型且轻量的反射构件设置在移动机构上,能够使移动机构的结构更简单。在上述专利技术中,也可以是,所述基板以通过被自所述片构件侧顶出而能够剥离的方式粘接于所述片构件,所述提取部包括:抵接构件,其具有隔着所述片构件抵接于所述一部分基板的抵接端;以及移动机构,其用于使该抵接构件沿大致铅垂方向移动。通过如此设置,利用移动机构使抵接构件朝向基板移动并利用抵接端隔着片构件顶出基板的简单的操作,就能够使配置于抵接端的大致铅垂下方的一部分基板选择性地自片构件剥离及落下。在上述专利技术中,也可以是,所述基板利用粘接力因紫外线的照射而降低的粘接剂粘接于所述片构件,所述提取部具有向所述预定的相对位置照射紫外线的射出面。通过如此设置,通过从射出面射出紫外线的简单的操作,就能够使配置于预定的相对位置的一部分基板选择性地自片构件剥离及落下。专利技术的效果根据本专利技术,起到能够采用倒置型的光学设计并且能够将载物台的移动机构设为简单的结构这样的效果。附图说明图1是本专利技术的一实施方式的基板回收装置的整体结构图。图2是表示应用于图1的基板回收装置的基板的一例的图。图3是可动单元配置在第2位置的、图1的基板回收装置的局部结构图。图4是说明图1的基板回收装置的动作的局部结构图。图5是表示图1的基板回收装置的变形例的局部结构图。图6是表示图1的基板回收装置的另一个变形例的局部结构图。图7是表示图1的基板回收装置的又一个变形例的局部结构图。具体实施方式以下,参照附图说明本专利技术的一实施方式的基板回收装置1。如图1所示,本实施方式的基板回收装置1包括用于载置基板2的大致水平的载物台3、配置于载物台3的上方的提取部4、配置于载物台3的下方的物镜(观察部)5、照明部6及回收部7、用于保持物镜5、照明部6及回收部7并使其一体移动的可动单元(移动机构)8、用于显示利用物镜5观察的图像的显示部9以及用于控制载物台3、提取部4、照明部6及可动单元8的控制部10。如图2所示,基板2在片(片构件)11的一个面上隔开间隙地排列有多个。在各个基板2的正面粘贴有自生物体组织切出的切片X的断片X’。这样的多个基板2例如通过将在正面上粘贴有切片X的玻璃盖片那样的原基板粘接于片11、并在片11上将原基板与切片X一起切断而制成。基板2的形状和尺寸并不特别限制,例如,基板2为矩形状,具有1mm以下的厚度尺寸和5mm以下的边尺寸。基板2的背面利用具有适当的粘接力的粘接剂以能够剥离的方式粘接于片11。即,基板2在粘接力的作用下粘接于片11,该粘结力大于该基板2的自重并且在预定的大小以上的力的作用下会使基板2的背面自片11侧顶出从而自片11剥离。另外,基板2和片11是光学透明或半透明的。载物台3大致水平地载置片11,并能够沿大致水平方向移动。另外,载物台3在中央部具有沿厚度方向贯穿的窗14。提取部4包括细长的直棒状的针构件(抵接构件)12和操纵器13。针构件12的顶端面(抵接端)具有与基板2大致相同或其以下本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板回收装置,其通过进行预定的操作而将以能够剥离的方式粘接于片构件的多个基板中的一部分基板从所述片构件剥离并回收,其中,该基板回收装置包括:载物台,其使所述多个基板朝向下方地载置有所述片构件,并能够沿水平方向移动;提取部,其通过在该载物台的上方针对该载物台上的所述基板进行所述预定的操作而使所述基板自所述片构件剥离并落下;观察部,其用于从所述载物台的下方观察该载物台上的所述基板;回收部,其用于在所述载物台的下方回收自该载物台落下的所述基板;以及移动机构,其用于使所述观察部和所述回收部一体地沿水平方向移动;所述提取部针对相对于该提取部配置在预定的相对位置的所述一部分基板进行所述预定的操作,所述移动机构能够将所述观察部和所述回收部定位在所述观察部配置于所述预定的相对位置的大致铅垂下方的第1位置和所述回收部配置于所述预定的相对位置的大致铅垂下方的第2位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.10.24 JP 2012-2347491.一种基板回收装置,其通过进行预定的操作而将以能够剥离的方式粘
接于片构件的多个基板中的一部分基板从所述片构件剥离并回收,其中,该
基板回收装置包括:
载物台,其使所述多个基板朝向下方地载置有所述片构件,并能够沿水
平方向移动;
提取部,其通过在该载物台的上方针对该载物台上的所述基板进行所述
预定的操作而使所述基板自所述片构件剥离并落下;
观察部,其用于从所述载物台的下方观察该载物台上的所述基板;
回收部,其用于在所述载物台的下方回收自该载物台落下的所述基板;
以及
移动机构,其用于使所述观察部和所述回收部一体地沿水平方向移动;
所述提取部针对相对于该提取部配置在预定的相对位置的所述一部分
基板进行所述预定的操作,
所述移动机构能够将所述观察部和所述回收部定位在所述观察部配...

【专利技术属性】
技术研发人员:森本伸彦
申请(专利权)人:奥林巴斯株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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