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本发明提供一种能够一边抑制损伤一边充分清洗表层上形成有多孔膜的基板的技术。对具有多孔结构的多孔膜(90)在表层上的基板(9)进行处理的基板处理方法，包括第一工序以及第二工序。在第一工序中，使含有水的第一处理液和气体进行混合来生成第一处理液的...
该专利属于斯克林集团公司所有，仅供学习研究参考，未经过斯克林集团公司授权不得商用。

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