下载一种真空镀膜装置的技术资料

文档序号:11708326

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本发明提供一种真空镀膜装置,包括腔体,所述的腔体内设置有探头、放置基片的模板、第一蒸发源和第二蒸发源;所述的腔体旁侧设置有气管;所述的气管与外部的真空泵连接;所述的第一蒸发源上设置有圆锥形的防护罩,本发明的有益效果是结构简单,使用方便,镀膜...
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