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本发明的基板生产状况监视装置具备：相机部，设于对基板实施预定作业的基板用作业设备，以动画方式拍摄作业的实施状况并输出动画数据；数据操作部，接收、保存并显示动画数据；触发事件检测部，在基板用作业设备内将变化事件及错误前兆事件中的至少一方作为触...
该专利属于富士机械制造株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士机械制造株式会社授权不得商用。

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