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本实用新型公开了一种高精密全自动FPC缺陷检测装置。该装置包括上位机系统和显微镜检测平台，上位机系统包括运动控制模块和显微镜视觉控制处理模块。显微镜检测平台包括电动精密载物台、电机控制箱、显微镜固定支架、显微镜、光源和数字摄像头。检测时将关...
该专利属于华南理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过华南理工大学授权不得商用。

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