下载一种用于直拉单晶炉热场的组合加热器的技术资料

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本发明提供一种用于直拉单晶炉热场的组合加热器,该加热器为由两个螺旋管状的环形发热部件组合而成的双螺旋管状结构,所述两个环形发热部件分别连接相互独立的电源。本发明用于直拉单晶炉热场,组合加热器中每个螺旋管状结构的环形加热部件的电流大小和方向都...
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