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一种形成互连结构的方法，包括：提供衬底，衬底表面形成有层间介质层、硬掩模层以及底部抗反射层；图形化底部抗反射层以形成开口；对开口通入反应气体以在开口的侧壁形成聚合物层；以聚合物层和底部抗反射层为掩模以去除部分硬掩模层；以剩余的硬掩模层为刻蚀...
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