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本发明公开了一种腔室压力读取方法及设备，其中方法包括：设置真空规保护阀，并使真空规保护阀处于关闭状态时，腔室上安装的真空规和腔室之间不导通；通过安装在腔室上的皮拉尼规检测腔室中的压力，当检测到腔室中的压力处于适合真空规工作的压力范围时，开启...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。