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一种基于双极片复合电场的电流体动力微泵制造技术
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文档序号:11682787
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本实用新型公开了一种基于双极片复合电场的电流体动力微泵,包括自上而下依次设置、并且边缘相互密封结合的上层电极片、硅胶膜和下层电极片;上下层电极片的相向面具有梳齿状电极阵列;硅胶膜的中部开设有槽孔;在对应于上梳齿状电极阵列的两端的上层电极片上...
该专利属于华南理工大学所有,仅供学习研究参考,未经过华南理工大学授权不得商用。
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