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具有压力平衡的动涡旋盘的真空涡旋泵制造技术
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文档序号:11676270
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一种真空涡旋泵(100),具有框架(210)、固定到所述框架(210)的定涡旋盘(220)、动涡旋盘(230)、用于驱动所述动涡旋盘(230)的偏心驱动机构(240)以及均衡特征(262),通过该均衡特征,所述偏心驱动机构(240)上生成的...
该专利属于安捷伦科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过安捷伦科技有限公司授权不得商用。
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