一种真空涡旋泵(100)，具有框架(210)、固定到所述框架(210)的定涡旋盘(220)、动涡旋盘(230)、用于驱动所述动涡旋盘(230)的偏心驱动机构(240)以及均衡特征(262)，通过该均衡特征，所述偏心驱动机构(240)上生成的轴向负载被抵消。定和动涡旋盘(230P)的涡旋叶片(220B)嵌套，以在定和动涡旋盘(230P)的盘的各相对前侧面(220a)之间限定构成压缩级(260)的空洞。均衡特征(262)包括限定在动涡旋盘(230)的盘(220P)的后侧面(即与提供压缩级(260)一侧相对)的轴向均衡腔(262)以及一机构，该机构使得空洞中间的那一个由所述机构可布置成与所述均衡腔(262)通过动涡旋盘(230)的盘(220P)连通。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空涡旋泵。
技术介绍
涡旋泵是一种泵的类型，所述泵包括具有螺旋形固定涡旋叶片的定涡旋盘，具有螺旋形绕动祸旋叶片(orbiting scroll blade)的动祸旋盘，以及所述动祸旋盘所親接到的偏心驱动机构。所述固定涡旋叶片和绕动涡旋叶片嵌套起来，有径向间隙和预定的相对的角位置，使得由所述叶片在所述叶片之间限定出空洞(或多个空洞)。动涡旋盘及其绕动涡旋叶片受到所述偏心驱动机构驱动，以绕着穿过所述固定涡旋叶片轴向中心的泵的纵向轴线绕动。因此，泵的涡旋叶片所限定出的空洞容量是随着绕动涡旋叶片相对于固定涡旋叶片运动而变化的。绕动涡旋叶片的绕动运动还造成空洞在泵压头组件内运动，使得空洞选择性地处于与涡旋泵的入口和出口开放连通的位置。在这种涡旋泵的一个示例中，所述绕动涡旋叶片相对于固定涡旋叶片的运动造成与泵的出口密封隔开而与泵的入口开放连通的空洞扩大。因此，流体通过入口被抽入到空洞内。然后空洞移动到与泵的入口密封隔开而与泵的出口开放连通的位置，同时此空洞收缩。于是，空洞内的流体受到压缩并从而通过泵的出口排出。在真空型涡旋泵的实例中，泵的入口连接到将被抽空的系统，例如包括处理腔的系统，所述处理腔内将生成真空和/或气体将从所述处理腔排出。
技术实现思路
本专利技术的一个目的是提供一种涡旋泵，其中泵的动涡旋盘上在一个方向上施加的轴向负载被抵消。本专利技术的另一个目的是提供一种真空涡旋泵，其偏心驱动机构可采用相对简单的轴承建构。本专利技术的另一个目的是提供一种真空涡旋泵，其轴承获得相对长的有用寿命。根据本专利技术的一个方面，提供一种真空涡旋泵，包括:具有泵入口的入口部分和具有泵出口的排放部分；框架；固定到所述框架的定涡旋盘；其涡旋叶片与定涡旋盘的涡旋叶片嵌套、以限定构成压缩级的一串联空洞的动涡旋盘；由框架支撑并工作连接到动涡旋盘以在绕泵的纵向轴线的轨道上驱动动涡旋盘的偏心驱动机构；以及均衡特征，由此在偏心驱动机构上生成的轴向负载被抵消。根据本专利技术的另一个方面，提供一种真空涡旋泵，包括:具有泵入口的入口部分和具有泵出口的排放部分；框架；固定到所述框架的定涡旋盘；其涡旋叶片与定涡旋盘的涡旋叶片嵌套以限定构成压缩级的一串联空洞的动涡旋盘；由框架支撑并工作连接到动涡旋盘以在绕泵的纵向轴线的轨道上驱动动涡旋盘的偏心驱动机构，所述机构包括机轴和位于机轴上的弹簧负载角接触轴承，在偏心驱动机构周围延伸并具有连接到绕动盘的第一端部和连接到框架的第二端部的管状波纹管；以及均衡特征，由此在偏心驱动机构上生成的轴向负载被抵消。关于均衡特征，轴向的均衡腔被限定在所述框架内、在纵向轴线方向上与所述绕动盘的部分后侧面对齐。另外所述绕动盘具有气体旁路通路，所述气体旁路通路连接所述均衡腔和构成所述压缩级的所述串联空洞的中间一个。还有，提供轴向气体力控制装置，用于选择性地将所述空洞的中间一个置于与所述均衡腔开放连通的位置以及用于阻断在所述空洞中间一个和所述均衡腔之间经由所述气体旁路通路的连通。【附图说明】本专利技术这些和其他的目的、特性及优势将结合附图从其优选实施例的详细描述中得到更好的理解，其中:图1是可应用本专利技术的涡旋泵的纵向剖视示意图；图2是根据本专利技术的涡旋泵的第一实施例的泵压头的纵向剖视示意图；图3是根据本专利技术的真空涡旋泵的定和动涡旋盘的组装视图；图4是根据本专利技术的涡旋泵的第二实施例的泵压头的另一类型排气口的纵向剖视不意图；图5是根据本专利技术的涡旋泵的第三实施例的泵压头的纵向剖视示意图；图6是根据本专利技术的涡旋泵的第四实施例的泵压头的纵向剖视示意图；以及图7是根据本专利技术的涡旋泵的第五实施例的泵压头的纵向剖视示意图；以及图8是根据本专利技术并采用角接触轴承的涡旋泵泵压头的纵向剖视示意图。【具体实施方式】下文中将结合附图更充分地描述本专利技术的各种实施例及实施例的示例。在附图中，为清楚起见零件的尺寸和相对尺寸有所夸大。同样，为清楚起见零件的形状也可能是夸大和/或简化的，并且可能出于易理解的目的而对零件示意性地示出。另外，在所有附图中，使用相似的附图标记和参考字符表示相似的零件。在上下文中为了描述本专利技术的具体例子或实施例在这里采用其它术语。例如，术语“包括”当用在该说明书中时存在所述特征或过程，但不排除存在另外的特征或过程。术语例如“固定(fixing) ”可用于描述将两个部件/元件以该部件/元件不能相对彼此移动的直接连接，或者该部件/元件通过一个或多个另外部件的中间物而间接连接。类似地，术语“耦接”可指得是直接或间接地将两个部件/元件彼此耦接。术语“界定”被理解为表示提供边界。术语“螺旋形”用于描述涡旋叶片时以其最通用含义使用，并且可指称本领域已知的任何形式的具有多个转数或“卷数(wrap) ”的涡旋叶片。现在参照图1-3描述根据本专利技术的真空涡旋泵的第一实施例。首先参看图1，可应用本专利技术的涡旋真空泵I可以包括整流罩100、具有入口开口270和排放开口 280的泵压头组件200、泵马达300、以及位于整流罩100内的冷却风扇400。此外，整流罩100在其相对端处分别界定出空气入口 100A和空气出口 100B。整流罩100还可包括遮盖泵压头组件200和泵马达300的罩110，以及支撑泵压头组件200和泵马达300的基座120。罩110可以是一个或多个部分，并且可拆卸地连接到基座120，使得罩110能够从基座120移开，以接近泵压头组件200。此外，马达300可拆卸地连接到泵压头组件200，使得一旦例如从基座120移开罩110，就可从泵压头组件200移开马达300，以对泵压头组件提供更好的接近来维护和/或故障排除。现在参看图2，真空涡旋泵的一个实施例的泵压头200包括框架210、定涡旋盘220、动涡旋盘230和偏心驱动机构240。框架210可以是一个整体件，或框架210可以包括几个相互固定的集成部分。在此示例中，定涡旋盘220可拆卸地安装到框架210 (通过紧固件，未示出)。定涡旋盘220包括固定盘220P和固定涡旋叶片220B，所述固定盘220P具有前侧面220a和后侧面220b，所述固定涡旋叶片220B从所述盘220P的前侧面220a轴向地伸出。固定涡旋叶片220B是螺旋形的，如所周知，所述螺旋具有从定涡旋盘220轴向中心发散出来的多个卷数。动涡旋盘230包括绕动盘230P和绕动涡旋叶片230B，所述绕动盘230P具有前侧面230a和后侧面230b，所述绕动涡旋叶片203B从所述盘230P的前侧面230a轴向地伸出。绕动涡旋叶片230B具有从动涡旋盘230轴向中心发散出来的卷数，所述卷数与固定涡旋叶片220B的卷数互补。如图2和3中所示，固定涡旋叶片220B和绕动涡旋叶片230B是嵌套的，具有预定的相对角度和轴向定位，使得在将于下面详述的泵运转期间，由固定涡旋叶片220B和绕动涡旋叶片230B在其间限定出空洞(图中其一标记为P)。所述空洞P连续地布置于入口开口 270和排放开口 280之间并共同构成泵的压缩级260 (图1)。在这方面进一步说，涡旋叶片220B和230B的侧面可以实际上不相互接触，以密封所述空洞P。准确的说，在涡旋叶片220B和230B侧壁表面之间的微小间隙与末端密封(未示出)一起形成足以构成符合要求的空洞P的密封。在固定涡旋叶片本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种真空涡旋泵(100)，包括：具有泵入口(140)的入口(140)部分和具有泵出口(150)的排放部分；框架(210)；定涡旋盘(220)，所述定涡旋盘(220)固定到所述框架(210)、并包括具有后侧面和前侧面的固定盘(220P)以及从所述固定盘(220P)的前侧面伸出的固定涡旋叶片(220B)，动涡旋盘(230)，所述动涡旋盘(230)包括具有后侧面和面向所述固定盘(220P)的前侧面的前侧面的绕动盘(230P)，以及从所述绕动盘(230P)向所述固定盘(220P)的前侧面轴向伸出的绕动涡旋叶片(230B)，以及偏心驱动机构(240)，所述偏心驱动机构(240)被所述框架(210)支撑并工作连接到所述动涡旋盘(230)，以便使所述动涡旋盘(230)绕所述泵(100)的纵向轴线转动，而所述动涡旋盘(230)被所述偏心驱动机构(240)所支撑，以便绕平行于所述纵向轴线的第二轴线可旋转，并且其中轴向的均衡腔(262)被限定在所述框架(210)内，在纵向轴线方向上与所述绕动盘(230P)的部分后侧面对齐，所述固定涡旋叶片(220B)具有螺旋体形式，所述螺旋体包括从所述固定盘(220P)的中心部分发散出的多个连续的卷数，所述绕动涡旋叶片(230B)具有螺旋体形式，所述螺旋体包括从所述绕动盘(230P)的中心部分发散出的多个连续的卷数，所述固定和绕动涡旋叶片(220B)是嵌套的，使得各固定涡旋叶片(220B)在其间界定出空洞，所述空洞串联地设置于在所述泵入口(140)和所述泵出口(150)之间并共同构成所述泵(100)的压缩级(260)，并且所述绕动盘(230)具有气体旁路通路(264)，所述气体旁路通路(264)连接所述均衡腔(262)和构成所述压缩级(260)的串联的所述空洞的中间一个；以及轴向气体力控制装置，所述装置用于选择性地将所述空洞的中间一个置于与所述均衡腔(262)开放连通的位置以及用于阻断在所述空洞的中间一个与所述均衡腔(262)之间经由所述气体旁路通路(264)的连通。...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：R·J·福尼，J·卡尔霍恩，
申请(专利权)人：安捷伦科技有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US
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