具有压力平衡的动涡旋盘的真空涡旋泵制造技术

一种真空涡旋泵(100)，具有框架(210)、固定到所述框架(210)的定涡旋盘(220)、动涡旋盘(230)、用于驱动所述动涡旋盘(230)的偏心驱动机构(240)以及均衡特征(262)，通过该均衡特征，所述偏心驱动机构(240)上生成的轴向负载被抵消。定和动涡旋盘(230P)的涡旋叶片(220B)嵌套，以在定和动涡旋盘(230P)的盘的各相对前侧面(220a)之间限定构成压缩级(260)的空洞。均衡特征(262)包括限定在动涡旋盘(230)的盘(220P)的后侧面(即与提供压缩级(260)一侧相对)的轴向均衡腔(262)以及一机构，该机构使得空洞中间的那一个由所述机构可布置成与所述均衡腔(262)通过动涡旋盘(230)的盘(220P)连通。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空涡旋泵。
技术介绍
涡旋泵是一种泵的类型，所述泵包括具有螺旋形固定涡旋叶片的定涡旋盘，具有螺旋形绕动祸旋叶片(orbiting scroll blade)的动祸旋盘，以及所述动祸旋盘所親接到的偏心驱动机构。所述固定涡旋叶片和绕动涡旋叶片嵌套起来，有径向间隙和预定的相对的角位置，使得由所述叶片在所述叶片之间限定出空洞(或多个空洞)。动涡旋盘及其绕动涡旋叶片受到所述偏心驱动机构驱动，以绕着穿过所述固定涡旋叶片轴向中心的泵的纵向轴线绕动。因此，泵的涡旋叶片所限定出的空洞容量是随着绕动涡旋叶片相对于固定涡旋叶片运动而变化的。绕动涡旋叶片的绕动运动还造成空洞在泵压头组件内运动，使得空洞选择性地处于与涡旋泵的入口和出口开放连通的位置。在这种涡旋泵的一个示例中，所述绕动涡旋叶片相对于固定涡旋叶片的运动造成与泵的出口密封隔开而与泵的入口开放连通的空洞扩大。因此，流体通过入口被抽入到空洞内。然后空洞移动到与泵的入口密封隔开而与泵的出口开放连通的位置，同时此空洞收缩。于是，空洞内的流体受到压缩并从而通过泵的出口排出。在真空型涡旋泵的实例中，泵的入口连接到将被抽空的系统，例如包本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空涡旋泵(100)，包括：具有泵入口(140)的入口(140)部分和具有泵出口(150)的排放部分；框架(210)；定涡旋盘(220)，所述定涡旋盘(220)固定到所述框架(210)、并包括具有后侧面和前侧面的固定盘(220P)以及从所述固定盘(220P)的前侧面伸出的固定涡旋叶片(220B)，动涡旋盘(230)，所述动涡旋盘(230)包括具有后侧面和面向所述固定盘(220P)的前侧面的前侧面的绕动盘(230P)，以及从所述绕动盘(230P)向所述固定盘(220P)的前侧面轴向伸出的绕动涡旋叶片(230B)，以及偏心驱动机构(240)，所述偏心驱动机构(240)被所述框架(210)支撑并...

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：R·J·福尼，J·卡尔霍恩，
申请(专利权)人：安捷伦科技有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US