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本发明提供一种用于检测绝缘环的检测装置及等离子体加工设备，该检测装置包括检测单元和与之电连接的检测电路，其中，检测单元采用导电材料制成，其设置在绝缘环的上表面上，检测单元与检测电路形成闭合回路，用以通过检测导电回路中的电流值和/或电压值相对...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。