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本发明提供一种PVD腔室遮挡盘检测装置和PVD腔室，包括传感器和观察窗，所述观察窗为一个，所述传感器均为漫反射传感器。本发明的PVD腔室遮挡盘检测装置仅采用一个观察窗，降低了设备造价，并且设备外型简单美观，再者本发明采用了漫反射激光传感器来...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。