下载金属掺杂锗碲基阻变存储材料及制备方法和阻变单元器件的技术资料

文档序号:11662912

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本发明实施例提供了一种金属掺杂锗碲基阻变存储材料,分子式为MxGeyTez,其中0<x≤20,35≤y≤55,z=100-x-y,M为Ag、Al、Au、Ti、W、Ta、Fe或Mn,其中金属M的掺杂提高了锗碲基阻变存储材料的晶化温度从而...
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