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本实用新型公开了一种MEMS麦克风、MEMS电容传感器和一种振膜。本实用新型提供的振膜上设有在外气压超过预设值后开启的泄气结构。本实用新型提供的技术方案能解决现有的MEMS振膜在突然受到大的气压冲击时如吹气，容易造成破损的问题。...
该专利属于歌尔声学股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过歌尔声学股份有限公司授权不得商用。

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