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本发明提供一种反应腔室及等离子体加工设备，反应腔室包括透明窗、上盖机构和固定机构，透明窗叠置在反应腔室侧壁的上表面上，上盖机构设置在透明窗的上方，且上盖机构用于打开或者关闭反应腔室，固定机构包括底座和压环，底座和压环均采用环形结构，压环的靠...该专利属于北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司授权不得商用。