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本实用新型为一种晶圆托盘结构，其包括托盘本体、至少一个第一晶圆平台及多个第二晶圆平台。托盘本体具有表面，表面上定义有第一区域及第二区域，第一区域是以托盘本体的任一点为圆心的圆形区域，第二区域是围绕于圆形区域外侧的同心环形区域。第一晶圆平台凸...
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