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一种Sb-Te-Cr相变材料、相变存储器单元及其制备方法技术
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下载一种Sb-Te-Cr相变材料、相变存储器单元及其制备方法的技术资料
文档序号:11628884
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本发明提供一种Sb-Te-Cr相变材料、相变存储器单元及其制备方法,所述Sb-Te-Cr相变材料的化学通式为SbxTeyCr100-x-y,其中x、y均指元素的原子百分比,且满足30<x<45,40<y<100-x。...
该专利属于中国科学院上海微系统与信息技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海微系统与信息技术研究所授权不得商用。
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