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本发明的目的在于提供一种成膜装置，其能够维持热分解出的材料气体的密度。该成膜装置的特征在于，具有：承受器，其具有第1部分和第2部分，其中，在该第1部分的上表面保持晶片，该第2部分与该第1部分相连；气体供给部，其向该承受器的上方供给材料气体；...
该专利属于三菱电机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三菱电机株式会社授权不得商用。

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