下载半导体装置及其制造装置的技术资料

文档序号:11622696

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本说明书所公开的半导体装置具备:半导体基板;多个沟槽栅,其在第一方向上延伸,并且在与第一方向正交的第二方向上以隔开间隔的方式而配置。多个沟槽栅具有:第一部分,其在半导体基板的表面上开口;第二部分,其从第一部分起在相对于半导体基板的深度方向而...
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