下载一种氧化物薄膜晶体管及制作方法和阵列基板、显示装置的技术资料

文档序号:11616436

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本发明公开了一种氧化物薄膜晶体管TFT及制作方法和阵列基板、显示装置,用以防止侧漏光或曝光反射光或外界光等光线在源极层、漏极层界面发生反射,进而减小光线对氧化物有源层的影响,提高氧化物TFT的性能和信赖性。所述氧化物薄膜晶体管TFT,包括:...
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