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本发明公开了一种用于电感耦合型等离子处理器射频窗口的加热装置，该装置加热射频窗口，该加热装置包含：至少一个加热器，其贴合设置在射频窗口上，加热器包含电阻丝、包裹在电阻丝上的绝缘薄膜，且加热器厚度小于1mm。绝缘薄膜采用聚酰亚胺。该装置使得射...
该专利属于中微半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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