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加工装置制造方法及图纸
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文档序号:11605387
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本发明提供一种加工装置,能够通过比较简单的构成修正起因于周围温度而产生的加工位置的位置偏移。加工装置包括:移动设备(1、1’),组装有移动距离检测单元;摄影装置(3)以及加工单元(2),装载于移动设备(1);移动台(5),设置于与移动设备(...
该专利属于松本清所有,仅供学习研究参考,未经过松本清授权不得商用。
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