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可挠式真空对位贴合设备制造技术
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下载可挠式真空对位贴合设备的技术资料
文档序号:11601589
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本实用新型揭示一种可挠式真空对位贴合设备,包括下贴合平台及上贴合平台。下贴合平台放置基板及承接弹性密封组件于基板周围。上贴合平台与基板及弹性密封组件相对设置。上贴合平台包括挠性基板承载台固定于上贴合平台,用以承载挠性基板,挠性基板与基板形成...
该专利属于宸圆科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宸圆科技股份有限公司授权不得商用。
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